AEROTECH發布具有無摩擦柔性導軌的 XY 壓電納米定位器，適用于精度要求極高的場合
發布時間：2015-8-4 10:29
發布者：eechina
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具有高分辨率、直線度和重復性的新型 QNP-XY 平臺可提供更高的產能 Aerotech (www.aerotech.com) 現已推出一個新系列的 XY 壓電納米定位器，用于精度要求 極高的場合。據該公司報告稱，QNP-XY 平臺以與其它類似的尺寸和行程范圍的定位器相比 具有最高的諧振頻率和剛度，使用戶能夠在嚴格的加工過程中實現更高的產能。 應用包括： • 測試與檢測 • 工業與科研實驗室 • 納米技術 • 顯微鏡 • 半導體 • 微電子 • 光學 • 光電 • 數據存儲 • 精密機械 • 金屬 • 生命科學 • 醫療器械 該平臺具有 0.15 nm 的分辨率，0.007% 的直線度和 2 nm 的重復，能夠滿足從顯微鏡到光學對準等最嚴苛的應用需求。其行程范圍從 100 µm 到 600 µm。 QNP 壓電平臺由無摩擦柔性鉸鏈導向，用有限元分析法進行優化來實現快 速閉合環路響應。這種集成式 XY 組合平臺使整體高度和運動質量都達 到最小，因而具有優異的靜態和動態多軸性能。 如果與 Aerotech 的 Q 系列控制器和驅動器一起使用，該平臺可具有亞納 米級定位精度和定位穩定度及高定位帶寬，無論是否帶有電容感測器反饋都具備上述性能，并且具有眾多軟件選項。 Aerotech 是領先全球的定位和運動控制產品供應商，其服務對象包括工業、 政府、科研和研究機構。其產品為那些對于高定位精度、高產能運動控制解決方案有著苛刻要求的應用場合提升了顯著的性能指標。 
XY 壓電納米定位平臺具有高諧振頻率和剛性，能夠在嚴苛的應用中實現高產能。 |
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