AEROTECH新推高精度Z軸納米定位器
發布時間：2016-3-24 16:31
發布者：eechina
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此款新型 QNP-L 平臺的行程范圍為 100 μm 到 600 μm Aerotech (www.aerotech.com) 現已推出一系列 Z 軸壓電納米定位平臺，可滿足極高精度要求 的科研和工業需求。此款新型 QNP-Z 平臺與現有的包括 QNP-L 直線平臺和 QNP-XY 平臺在內的產品，為精度要求最高的應用提供了全套解決方案。 
它們具有很高的分辨率、線性、重復性和高動態性能，能夠滿足顯微鏡到光學對準等最嚴苛的應用需求。該平臺具有 0.15 nm 的分辨率，0.007% 的線性和 1 nm 的雙向重復性， 從而保證了納米級精度。 各種行程范圍（100 μm 到 600 μm）、反饋選項和真空版本增加了此 平臺系列的多樣性。它們由精密柔性鉸鏈導向，用有限元分析法進行優化。這種設計具有出色的剛度和高諧振頻率（高達 1050 Hz），能夠實現高產能和快速閉環響應。 所有 QNP 平臺都具有優異的幾何性能（直線度和角度誤差）， 同時將整體包裝尺寸降低到最小。還備有轉接板，使直線單軸平臺、XY 和 Z 軸平臺能夠安裝在一起進行同步多軸定位。 Aerotech公司是一家為工業、政府、科研機構提供精密定位和運動控制產品的全球化頂級供應商，其產品專門針對高精度、高產能運動控制解決方案的應用需求提供關鍵性能指標。 應用包括： • 測試和檢測 • 政府與高校實驗室 • 軍事 • 納米技術 • 顯微鏡 • 半導體 • 微電子 • 光學 • 光電 • 數據存儲 • 精密機械 • 金屬 • 生命科學 • 醫療器械 |
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