美國科研人員實現 1nm 制程工藝
發布時間：2017-5-5 09:44
發布者：eechina
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EETimes的報道稱，美國能源部（DOE）下屬的布魯克海文國家實驗室的科研人員日前宣布創造了新的世界記錄，他們成功制造了尺寸只有 1nm 的印刷設備，使用還是電子束印刷工藝而非傳統的光刻印刷技術。 這個實驗室的科研人員創造性地使用了電子顯微鏡造出了比普通EBL(電子束印刷)工藝所能做出的更小的尺寸,電子敏感性材料在聚焦電子束的作用下尺寸大大縮小,達到了可以操縱單個原子的地步。他們造出的這個工具可以極大地改變材料的性能,從導電變成光傳輸以及在這兩種狀態下交互。 他們的這項成就是在能源部下屬的功能納米材料中心完成的,1nm印刷使用的是STEM(掃描投射電子顯微鏡),被隔開11nm,這樣一來每平方毫米就能實現1萬億個特征點(features)的密度。通過偏差修正STEM在5nm半柵極在氫氧硅酸鹽類抗蝕劑下實現了2nm分辨率。 事實上這也不是科學家第一次實現1nm級別的工藝,去年美國能源部下屬的另一個國家實驗室——勞倫斯伯克利國家實驗室也宣布過1nm工藝,他們使用的是納米碳管和二硫化鉬等新材料。同樣地,這項技術也不會很快投入量產,因為碳納米管晶體管跟這里的PMMA、電子束光刻一樣跟目前的半導體工藝有明顯區別,要讓廠商們一下子全部淘汰現有設備,這簡直是不可能的。 |
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