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MEMS技術及其應用

發布時間：2011-1-11 22:14 發布者：看門狗

關鍵詞： MEMS

MEMS 技術及其應用
李德勝等編著
出版社：哈爾濱工業大學出版社
出版日期：2002年3月

本書共有八章，在概述微機電技術的發展背景、現狀及應用前景的基礎上，介紹了MEMS基本理論，隨后對MEMS相關工藝做了詳盡的講述。作為MEMS應用，分別介紹了數種典型的物理量傳感器和化學量傳感器的工作原理及制造工藝，對各類微操作器、微機械零件及電系統也做了比較詳細的論述，最后開辟一章介紹了生物芯片相關技術。

本書可作為微電子、機電一體化、精密儀器及儀器儀表等專業高年級的教學參考書，也可供其他專業師生及有關工程技術人員參考。

MEMS技術及其應用.pdf (14.31 MB)

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網友評論

wangqi490789 發表于 2011-1-12 08:29:05

頂一下，感謝樓主

lbbook 發表于 2011-1-15 14:05:52

謝樓主分享

hszx 發表于 2011-2-7 13:01:40

leifu666 發表于 2011-2-10 14:50:39

多謝分享學習學習

youyou_zh 發表于 2011-2-11 16:50:11

好

btma 發表于 2011-2-18 02:09:39

原來是微機電技術呀！

sansanlu 發表于 2011-4-3 17:41:22

sansanlu 發表于 2011-4-3 17:42:44

guoyanjie1984 發表于 2011-5-3 12:01:05

學習學習

nudt_dhl 發表于 2011-5-11 19:29:51

thanks for your sharing

rinllow5 發表于 2011-5-18 10:42:58

謝謝�。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。�！

4321 發表于 2011-7-25 09:50:24

thx~~

lixiongfei 發表于 2011-8-27 12:28:30

好東西，一起分享！

zhuozc 發表于 2012-1-30 20:19:43

多謝

d421011611 發表于 2012-5-16 20:46:44

好東西，一起分享！

kismeter 發表于 2012-12-12 13:54:42

感謝

xinger 發表于 2013-3-4 10:50:04

好樣的

moguojing 發表于 2013-4-8 23:37:01

thx~~~

上網去溜溜 發表于 2013-12-4 17:43:17

謝謝分享

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