自主研發 南大光電國產高端光刻膠通過認證 已經用于50nm工藝
發布時間：2023-4-11 09:04
發布者：eechina
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來源：快科技 4月10日消息，南大廣電在互動平臺表示，該公司自主研發的高端ArF光刻膠已經通過了客戶認證，并少量銷售。 南大光電表示，公司已有兩款ArF光刻膠產品分別在下游客戶存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術節點上通過認證，并實現少量銷售。 現階段驗證工作正在穩步推進，且針對同一客戶開發了不同的產品，以滿足客戶的多樣化需求。 此前該公司指出，公司已建成年產5噸ArF干式光刻膠生產線、年產20噸ArF浸沒式光刻膠生產線及年產45噸的光刻膠配套高純試劑生產線，具備ArF光刻膠及配套關鍵組分材料的生產能力，目前公司送樣驗證的產品均由該自建產線產出。 2022 年，南大光電公司實現營業收入158,123.07萬元，同比增長60.62%；歸屬于上市公司股東的凈利潤18,673.26 萬元，同比增37.07%；歸屬于上市公司股東的扣除非經常性損益后的凈利潤12,562.52萬元，同比增長78.39%。 |
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